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SENSOR 및 CONTROLLER

BUSINESS

플라즈마 센서

반도체 및 디스플레이 공정(식각, 증착 등)에서 플라즈마 밀도(Electron Density)는
공정 균일성, 식각, 박막 품질에 직접적인 영향을 미치는 핵심 인자를 측정하는 웨이퍼형 센서

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