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SENSOR 및 CONTROLLER

BUSINESS

공정 진단 센서

반도체 및 디스플레이 공정(식각, 증착 등)에서 척(Chuck)의 온도는 공정 균일성, 식각, 박막
품질에 직접적인 영향을 미치는 척(Chuck)의 온도 분포의 비균일성 측정하는 웨이퍼형 센서

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